EP024.什麼是 MAX EP alarm??

Keywords: OES, Endpoint, EP

“蝕刻終點” 通常指的是在蝕刻（etching）過程中，被蝕刻物質完全去除或達到預定厚度的位置。這一點通常是進行微細加工、製造微影、半導體製程等領域的關鍵步驟。

在某些製程中，特別是在半導體製造、薄膜製程、化學製程等微細加工領域，質譜儀是一種被廣泛應用的工具，用來監測和分析氣體相的成分變化。在蝕刻製程中，質譜儀的應用可以提供實時、高靈敏度的氣體分析，有助於確定蝕刻終點。

本文大綱列表

質譜儀在蝕刻終點監測中的應用

氣體成分變化的檢測：
- 質譜儀可以分析蝕刻過程中產生的氣體，檢測氣體相中各種成分的變化。
- 蝕刻過程中，被蝕刻物質的終點通常伴隨著氣體成分的改變，這些變化可以被質譜儀高效地捕捉。
蝕刻終點的確定：
- 質譜儀能夠提供高精度的氣體分析結果，這使得在蝕刻過程中氣體相變化的特定時刻被準確地檢測。
- 當特定氣體成分的峰值或變化率達到預定值時，可以判定蝕刻終點已經達到。
即時監測和反饋：
- 質譜儀提供實時的氣體分析，使操作人員能夠即時了解蝕刻過程中的變化。
- 基於即時監測的結果，可以實施即時調整，以確保蝕刻達到預期的終點而不超過。

答：Maximum End point alarm (設定時間內無法偵測到蝕刻終點。）

1. 簡述EPD之功用

答：偵測蝕刻終點;End point detector利用波長偵測蝕刻終點

2. 在機台上哪個是 End point detector （光諎原理）

答： OES (spectrometers used for optical emission spectroscopy)

用於光學發射光譜的光譜儀

OES簡介

3. Recipe step type 設定在哪？

答：Recipe window/ recipe / Step type 為 EndPt

1.Stable: 各參數都符合soft tolerance才會進入下一步，否則就會出現stable fail alarm.
2.Time: process 時間，設定此step的時間，以秒為單位，。
3.EndPt：endpoint，蝕刻結點，藉由OES設備，偵測光譜訊號來結束這step。

4. Recipe step process time 設定在哪？

答：Recipe window/ recipe / Process time (以秒為單位）

Recipe 參數設定

確認 Recipe 設定，在 EndPt step，

在max process time 65秒內沒達到設定值，

UI 就會亮紅燈，秀出MAX EP ALARM @stepX 65s。

StepType & process time 設定

此時我們要檢查 OES 訊號是否正常、

RF POWER是否正常輸出、

Process pressure 是否穩定。

這些都正常，就請專責人員補蝕刻，完成的預設步驟。