半導體製造過程中，Lam 2300是Lam Research公司生產的一款設備，主要用於氣體處理和乾式蝕刻步驟。Gasbox，通常是指該設備中的氣體盒（Gas Box），是其中的一個重要模塊，用於供應和控制各種氣體，以支援半導體製程中的不同需求。
keywords: NO, NC, MFC, primary valve, second valve， delivery switch alarm
1. gasbox 是什麼東西，有什麼功能？
答：乾蝕刻會用的製程氣體，就是藉由GASBOX，匯集各種氣體的裝置，有眾多閥件及MFC控制氣體進入Chamber使用。
Gasbox功能：
- 氣體供應： Gasbox是氣體處理的一個模塊，用於供應各種製程所需的氣體，如氫氟酸、氮氣等。
- 氣體混合和控制： Gasbox可能具有氣體混合和控制功能，以精確地調節不同氣體的比例，以滿足特定製程的需求。
- 壓力和流量控制： Gasbox可能包含壓力和流量控制裝置，以確保精確的製程條件。
- 安全性： Gasbox通常會考慮到安全性，包括氣體的安全供應和排放。
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| GASBOX在UI的位置與實體圖 |
2. gasbox 內有什麼東西及功能？
答：
1）Primary valve：進到chamber 內的第一道閥，可「氣動」及「手閥」作為開關動作。
2）MFC：流量控制器，有7種規格，附有 Transduer可以偵測管路壓力。
3）Second valve：進到chamber 內的第二道閥，「氣動」作為開關動作。
4）PS3: pressure switch 3，又稱為deliver switch，此為 interlock，若gas box 因閥件問題無法順利流進chamber，就會卡interlock, 出現 delivery switch is not vacuum alarm。
5) purge valve：要把該管路MFC pump down，透過V2/V4 到DPM抽掉。
6）V2/V4:接到DPM的最後一道閥件；V2: 2nd valve 後到DPM，V4: purge valve 到DPM
PS. DPM: Dry pump module
7）CDA bank：電磁閥，電腦UI給訊號，開啟電磁閥，電磁閥給氣去推動閥件動作。
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| GASBOX有哪些零件 |
3. gasbox 內有一特殊閥件？
答：就是 EX/FX 的 V187 valve（N.O.） , 全部都是CDA 給氣時，開啟閥件，只有V187常開閥，CDA給氣時，閥件「關閉」。
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| 常開閥件，常閉閥件 |
