在半導體製造中,Load Port 是一個用來自動加載和卸載半導體製程中的 FOUP(Front Opening Unified Pod)的裝置。FOUP是用於保存半導體製造中的晶圓或其他薄片的封閉容器。為了實現智能化、自動化的製造流程,Load Port 常常搭載 RFID(Radio-Frequency Identification)技術的 Tag Reader,用來讀取 FOUP ID。
RFID 技術使用射頻信號來在短距離內傳輸數據,Tag Reader 則用來讀取裝置上的 RFID 標籤。在 Load Port 上,FOUP 上標有包含 FOUP ID 等信息的 RFID 標籤,Tag Reader 能夠無線讀取這些標籤的數據。這樣的應用使得 Load Port 能夠辨識並追蹤所處理的 FOUP,有助於確保正確的物料處理、提高製程的可追溯性,同時降低人為操作錯誤的風險。因此,藉由 RFID 技術的 Tag Reader 讀取 FOUP ID,為半導體製造中 Load Port 的智能化和自動化提供了重要的支持。
Load Port 怎麼知道FOUP ID?
1.1 tag reader(標籤讀取器)
透過LP上的 tag reader (標籤讀取器,LP上一個天線棒+讀取器在LP cover內,tLP 翻開可看到另一黑盒子) 回傳給電腦這是RFID技術應用。
1.2 如何處理 tag reader error?
1.2.1 確場確認FOUP status (FOUP 在LP上,無clamped
1.2.2 Maintain page “Initial tag” for error.
1.2.3 Alarm page. “recover alarm”
1.2.4 打開LP上的黑盒檢查天線棒(Antenna)是否脫落。
1.2.5 打開LP cover, 檢查 tag reader 黑盒子是否脫落。
1.2.6 抱走FOUP到Stoker。
1.2.7 借FOUP測試FOUP ID 讀取。
1.2.8 LP 切換成manual mode. FOUP 放上LP,Siview即可讀到FOUP ID表示正常。