“Notch” 是指晶圓（wafer）上的一個特殊標誌或缺口，通常用來標記晶圓的方向或某種特定的定位信息。這樣的標記在半導體製造過程中非常重要，因為它能夠幫助系統確定晶圓的方向和位置，以便進行後續的製程步驟。
使用CCD（Charge-Coupled Device）來找到晶圓上的缺口是一種常見的定位方法。CCD是一種能夠將光信號轉換為電信號的器件，常用於影像擷取和影像處理。在半導體製造中，CCD可以搭配相應的影像處理軟體，定位並識別晶圓上的缺口。
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| notch |
keywords: notch, aligner.
1. wafer 傳送路徑, 如圖
答：Load port -> ATMarm -> Aligner -> Airlock -> TransferChamber -> PMx ->
TransferChamber -> Airlock -> ATMarm -> cooling station -> Load port
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| example of a Waferflow |
2. notch 是什麼？
答：缺口，在wafer 上做記號，定位wafer用。
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| notch |
3. Aligner 是什麼？
答：Aligner 的主要目的是確保晶圓在製程中的正確定位，這對於半導體製造中的各種步驟，如曝光、蝕刻、沉積等，都是至關重要的。透過 notch 的定位，製造設備可以精確地控制晶圓的位置，確保製程的一致性和品質。
註:（CCD(Charge Coupled Device:電荷耦合元件)是一種類似積體電路(IC)的半導體電子元件.主要的功能可以把光轉換成電)
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| Aligner |
