自動控制基本原理 |
keywords: 自動控制、主動參數、被動參數
什麼是主動參數、什麼是被動參數??
帶你先瞭解自動控制,再列舉項目說明
1. 自動控制原理
開迴路: 即系統的輸出端和輸入端之間不存在相反的影響,在自動控制學科中稱之為無反饋迴路,故把這種系統稱之為開迴路控制系統。
閉迴路:與開迴路系統比較,閉迴路控制系統的最大特點是檢測偏差,具有反向通道,即設有感知器反饋,糾正偏差。
閉迴路:與開迴路系統比較,閉迴路控制系統的最大特點是檢測偏差,具有反向通道,即設有感知器反饋,糾正偏差。
如下圖:我們機台,大部份都是閉迴路控制。
開迴路 vs. 閉迴路 |
2. 閉迴路控制
2.1 溫度控制作動概念
1.若溫度計低於設定值,控制器增加輸出,使heater 增加加熱程度。
2.若溫度計低於設定值,控制器減少輸出,使heater 減少加熱程度。
溫度控制 |
2.2 壓力控制作動概念
1.若壓力低於設定值,控制器關小PV開度,使CM1讀值增加。
2.若壓力高於設定值,控制器開大PV開度,使CM1讀值變小。
2.3 功率控制作動概念
1.若Voltage 低於設定值,控制器增加power輸出,使voltage 增加
2.若Voltage 高於設定值,控制器減少power輸出,使voltage 減少。
2.若Voltage 高於設定值,控制器減少power輸出,使voltage 減少。
功率控制 |
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3. 什麼是主動參數?
ans: 機台recipe or EC 設定多少,就該維持多少,例如溫度,壓力,流量
4. 什麼是被動參數?
ans: 機台受主動參數影響,不可控的,例如output value, throttle position, capacity position
5. 主/被動參數表格整理
|
1主動 (設定值) |
2被動 (控制量) |
備註 |
功率控制 |
Bias voltage |
Bias forward power |
因機台bias voltage mode |
功率控制 |
bias voltage |
Series cap position Shunt cap position |
power |
功率控制 |
TCP forward power |
C1/C3 Cap position |
power |
功率控制 |
TCCT |
C4/C5 Cap position |
power |
Chamber 壓力控制 |
CM1 壓力讀值 CM2 壓力讀值 |
Throttle valve position |
pressure |
溫度控制 |
溫度 ESC Chamber wall TCW/TCR |
Output value |
temperature |
流量控制 |
流量 MFC flow |
MFC 針閥開度 |
gas |
Backside He B/H |
UPC pressure |
UPC flow |
pressure |