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自動控制

EP041. 主動參數?被動參數?

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自動控制基本原理

 

 

keywords: 自動控制、主動參數、被動參數

什麼是主動參數、什麼是被動參數??

帶你先瞭解自動控制,再列舉項目說明

1. 自動控制原理

開迴路: 即系統的輸出端和輸入端之間不存在相反的影響,在自動控制學科中稱之為無反饋迴路,故把這種系統稱之為開迴路控制系統。
閉迴路:與開迴路系統比較,閉迴路控制系統的最大特點是檢測偏差,具有反向通道,即設有感知器反饋,糾正偏差。
 
如下圖:我們機台,大部份都是閉迴路控制。
開迴路 vs. 閉迴路

 

2. 閉迴路控制

    2.1 溫度控制作動概念

        1.若溫度計低於設定值,控制器增加輸出,使heater 增加加熱程度。
2.若溫度計低於設定值,控制器減少輸出,使heater 減少加熱程度。

溫度控制

 

    2.2 壓力控制作動概念
        1.若壓力低於設定值,控制器關小PV開度,使CM1讀值增加
        2.若壓力於設定值,控制器開大PV開度,使CM1讀值變小
壓力控制

 

   2.3 功率控制作動概念
 
           1.若Voltage 低於設定值,控制器增加power輸出,使voltage 增加
  2.若Voltage 高於設定值,控制器減少power輸出,使voltage 減少

功率控制

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3. 什麼是主動參數?

ans: 機台recipe or EC 設定多少,就該維持多少,例如溫度,壓力,流量

4. 什麼是被動參數?

ans: 機台受主動參數影響,不可控的,例如output value, throttle position, capacity position

5. 主/被動參數表格整理

1主動 (設定值)

2被動 (控制量)

備註

功率控制

Bias voltage

Bias forward power

因機台bias voltage mode

功率控制

bias voltage

Series cap position

Shunt cap position

power

功率控制

TCP forward power

C1/C3 Cap position

power

功率控制

TCCT

C4/C5 Cap position

power

Chamber 

壓力控制

CM1 壓力讀值

CM2 壓力讀值

Throttle valve position

pressure

溫度控制

溫度

ESC

Chamber wall

TCW/TCR

Output value

temperature

流量控制

流量

MFC flow

MFC 針閥開度

gas

Backside He

B/H

UPC pressure

UPC flow

pressure

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