EP050. Airlock 的功能及相關操作
“Airlock” 在半導體製造設備中是指一個用於傳送的 …
“Notch” 是指晶圓(wafer)上的一個特殊標誌或 …
PS. 圖與文僅供參考及分享,並非營利或教學用。 Chiller冷卻機 TCU( …
乾式泵浦- Dry pump 主要是藉著高速轉子壓縮氣體或動能傳 遞將氣 …
動態定位(Dynamic Alignment,簡稱DA)是一種在半導體製造設備中 …
在半導體製造中,Load Port 是一個用來自動加載和卸載半導體製程中的 FO …