Brooks Automation是一家專注於半導體製造和實驗室自動化的公司。Brooks Automation的真空傳送手臂主要應用於半導體製造行業，用於處理晶圓或其他相關的半導體製程材料。以下是一些可能與Brooks Automation
真空傳送手臂相關的功能
- 晶圓傳送： Brooks的真空傳送手臂可能被設計用於準確、可靠地傳送晶圓。這是半導體製造過程中的關鍵步驟，需要高度精確的位置控制和清潔的環境。
- 高度精確度： 這些手臂可能具有高度精確的運動控制，以確保將晶圓準確放置在指定的位置。這對於製程的成功和半導體器件的製造非常重要。
- 真空技術： 考慮到半導體製造的特殊要求，這些手臂可能具有真空技術，以確保在處理材料時維持清潔的環境。
Brooks Automation的這些手臂通常使用多軸運動系統和真空技術，以實現高度精確的傳送位置。以下是一些可能用於
定義傳送位置的原理
- 多軸運動控制： 真空傳送手臂通常具有多軸運動控制系統，這使得手臂可以在不同方向上進行精確的運動。透過控制不同軸的運動，可以實現手臂在三維空間中的定位。
- 激光測距： 有些系統可能集成激光測距技術，以精確測量手臂與目標之間的距離。這有助於確保手臂能夠精確地移動到所需的位置。
設定 VTM robot, R,T代表什麼？
1 名詞定義：R 徑度（radius），T角度（Theta），Z高度
2 應用：VTM robot 怎麼知道Airlock1 在什麼位置？
2.1 VTM robot 是旋轉運動，藉由R，T，Z定義位置。
2.2 R：Robot伸出去的長度。（1000 count = 1mm）
2.3 T：Robot 轉向的角度。（300 count = 1mm）
2.4 Z：Robot 的高度。
3 VTM 作動：轉向 -> 升高 -> 伸長。例：（轉向AL1，升高，伸長）
4 PM1/PM2/PM3/AL1/AL2 這些位置怎麼來的？
見VTM robot replacement （連結）
藉由置具定義RTZ，和校正來完成各傳送位置。
