MFC（Mass Flow Controller）是一種關鍵的氣體流量控制裝置，廣泛應用於半導體製造。其主要功能包括精確調節氣體流量、質量流量測量和數字控制。在半導體製程中，MFC被用於製程氣體供應、沉積、蝕刻等關鍵步驟。
然而，由於有些MFC應用於處理有毒氣體，例如NF3、HBr、Cl2等特殊氣體，更換MFC被視為高風險作業。為確保安全，必須嚴格遵守標準作業步驟。這包括適當的培訓、使用適當的防護裝備，以及按照制定的程序執行MFC更換作業。
MFC更換流程
1 流程部份
1.1 EEM/ 高風險作業申請
1.2 機台端作業
1.3 ERC 借工具
1.4 備零件, gasket, 工具包（扭力扳手，公制3號）
1.5 約ERC 預約現場更換時間。
2 機台端作業
2.1 關gas box 手閥
2.2 Chamber LR （更換作業”當天”的數值）
2.3 Primary LR (3-2 LR 要小於 0.1mT/min), LR test time is 300s.
2.4 Pump purge 240 times（機台預設120次，要purge兩輪）
3 ERC借工具
3.1 SCBA
3.2 紅臂章
3.3 Gas detector （告知欲更換的氣體）
3.4 直播錄影機
4 現場動作
4.1 更換前
4.1.1 LOTO ＋ 鎖 ＋ 告示牌
4.1.2 待拆標籤
4.1.3 CV 管
4.1.4 ERC 確認項目
4.1.5 Gasline LR < 0.1 mT/min
4.1.6 Pump purge 次數 （event log）
4.1.7 LOTO… 等作業流程
4.2 更換中
4.2.1 解離
4.2.2 留意螺絲不要掉了，且避免滑牙
4.2.3 調整MFC通訊設定（如圖）
4.2.4 上鎖順序：
4.2.4.1.1 「MFC」 鎖 ㄇ 字型。
4.2.4.1.2 閥件（ex. v187閥, 2nd valve）鎖對角。
4.2.5 上鎖磅數：25 -> 35lb/in
4.3 更換後
4.3.1 Pump purge, check
4.3.1.1 MFC flow 抽乾時沒有流量
4.3.1.2 N2充滿時，flow為全流量
4.3.2 Test LR
4.3.3 He detector 5×10^-11
4.3.4 MFC cal 10 點（spec <1%）
4.3.5 機台Mon PA/ER
4.3.6 系統PTS上機
4.3.7 系統MFC工單結案
