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Chiller冷卻機
TCU（Temperature Control Unit，溫控單元）使用Fluorinert冷卻劑（FC-3283），以防止射頻功率通過冷卻劑傳播並短路到地。
TCU將冷卻劑引導到下電極，冷卻劑通過進口進入，經過密封板中的通道，然後通過出口排出。
TCU採用單槽/雙槽系統，以維持電極的溫度。 TCU槽的溫度由用戶可編程的TCU參數設定點確定。 TCU參數設定點由TCU槽中的熱電偶控制。
由於TCU管道中的熱損失，電極溫度可能略有不同於TCU溫度。單獨的電極熱電偶可讓您監控電極的溫度。
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1. 群力科技：
代理丸山製作所株式会社製造之MARUYAMA Chiller全系列產品
自創社以來，本公司以「控制流體溫度」為目標，持續半導體製造機台技術革新，朝Chiller製造邁進。蒙各界厚愛，我們得到世界眾多客戶的信賴，成長至今，近年不只是半導體，成長中的產業(如：液晶、MEMS、有機EL等)也對本公司寄予很高的期待。
今後在全球化下，我們將以世界認同的「技術及品質」正面回應客戶的期待。
2. 捷亮科技：
致力於專業的chiller冰水機設備技術維修
創立於民國98年；致力於專業的chiller冰水機設備技術維修，為強化多元的市場脈動，提升高效率的服務品質；捷亮科技與ATS 精進設備研發，並提供工程人才技術指導。提供完整的客戶技術支援，chiller冰水機設備生產、安裝、改機、維修、銷售等。
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