UI（User Interface，人機介面）是指在電腦系統或應用程式中，用戶與系統進行交互的方式和元素。我在學校曾使用LabVIEW寫過程式的經驗對理解其他機器上的UI操作確實是一個有利的因素。儘管不同的機器和應用可能會有一些差異，但理解UI 上的各個參數的意義，會讓你在工作中更容易獲得資訊來判斷狀況。

UI的目的是提供一個直觀、易於使用的界面，讓用戶能夠輕鬆地與設備、應用程序或系統進行交互。這包括使用按鈕、滑塊、圖表等元素來呈現數據、觸發操作或顯示結果。因此，如果你獲得了對UI的基本理解，這對於設備或故障排除非常有幫助。

UI operate頁面數字函義

1        Step number: recipe進行中的步數

2        Current step type: 有三個模式，stable, time, EPT

2.1       Stable: 各參數都符合soft tolerance才會進入下一步，否則就會出現stable fail alarm.

2.2       Time: process 時間，秒為單位。

2.3       EPT：endpoint，蝕刻結點，藉由OES設備，偵測光譜訊號。

3        Process elapsed time: 設定時間及進行秒數

4        Pressure：chamber 壓力，CM1 reading

5        應用：當機台有alarm，可以從這頁面初步判斷process是否已完成，或進行到第幾步，第幾秒，是否需補蝕刻。