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| CM1:process manometer |
這不是教學，只是分享交流
關於壓力，可回顧”壓力篇” https://hungnite.blogspot.com/2023/06/ep020.html
keywords： Autozero, conductance
0.壓力量測的重要性
壓力測量的正確性和可靠性的在蝕刻製程中是非常重要。以下是對這兩個步驟的進一步解釋：
- Autozero（歸零）：
- Autozero是一種校正方法，旨在維護壓力儀器的基準點，以確保準確的壓力測量。
- 歸零程序通常包括將儀器置於零壓狀態，即在沒有壓力的情況下，並調整儀器的內部參數，使其輸出為零。
- 這可通過自動化程序（例如自動歸零功能）或手動調整來實現，以確保在正常操作期間獲得穩定的基準點。
- Conductance Learning（）：
- Conductance是指流體通過一定幾何形狀的管道或閥門時的通導性。在這種情境下，conductance learning是在固定的氣體流量下學習，不同閥件開度時的壓力變化。
- 這種學習的目的是建立一個壓力和閥件開度之間的關係，以便在實際應用中更好地了解和控制壓力。
- 通常，這涉及在實驗條件下使用已知的氣體流量，逐步調整閥門的開度，同時記錄相對位置和對應的壓力變化。
- 這樣的學習過程可以提供一個基準，使得在未來操作中可以更精確地根據閥門開度來調整和維護所需的壓力。
這些步驟有助於確保壓力測量的可靠性和穩定性，並為控制系統提供了準確的參考值。進行這樣的校正和學習步驟有助於確保測量系統的精確性，尤其是在需要高度可靠和準確的壓力控制的應用中。以下是以生活白話文解釋與應用：
1. 什麼是A＋C？
答：autozero + conductance learning
2. 什麼功用？
答：1) CM1/CM2 零點需要維持住，也就是底壓（base pressure)，是壓力的基準點，
若有誤差(offset)，需要做auto zero 校正。
若有誤差(offset)，需要做auto zero 校正。
2) Conductance learn 從curve 可看出壓力系統是否有問題，諸如CM1底壓，pumping speed,
throttle valve 作動等等。
Note: The data generated by Conductance learn can also serve as an indicator of system performance with respect to pumping speed, throttle valve operation, and manometer calibration.
3. auto zero怎麼做？
答：看圖，注意事項：
1）pump down
2）PV 全開，讀值1000 為pump down
3）底壓（base pressure, BP)，CM1/CM2 讀值趨近於零（絕對壓力）
若CM 讀值>1.5，可能有異常，先確認manometer 是否裝好。
4）按”AutoZero”
5）確認Zero offset 頁面
6）Zero offset spec.要符合規範
7）Lam建議 CM1 < 8 mT, 換掉，實際規範問自家學長。
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| Auto zero |
4. conductance learn 怎麼做？怎麼判斷好壞？
1）Generate data. 跳數分鐘後，就會產生新的曲線。 “New”
———- 以下說明圖
2）Input gas，通常設定O2，80sccm
3）橫軸為 throttle position。
4）縱軸為 Flow/pressure（CM1），可從單位看出相對應的項目
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| Conductance learn |
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| 典型的曲線 |
以下為異常曲線，若底壓有異常，非零的情況下，”新”跑出來的曲線就異常，
能否看出其中的差異，只能多練習。
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| 異常的曲線 |
Reference:
202-803252-001, Rev. R Autozeroing the Process and Chamber Manometers
202-803253-001, Rev. P Performing the Conductance Learn
