keywords: datalog viewer | platform datalog setup
1. 怎麼手動測試機台，並留下datalog?
答：Diagnose trace. Diagnose\Platform Diag Trace Window，如圖
2. 怎麼設定要確認的sensor / indicator ?
答：Go to the Diagnose\Platform Diag Setup window.
3. 練習，以設定Backside He pressure 為例，如下圖
- Set up a diagnostic trace specification with the following variables: − HeBacksideFlow_AI
− HeBacksidePressure_AI
− ChamberManometerAdjustedPressure
− ProcessManometerAdjustedPressure註：AI 是什麼意思：（analog input, 類比訊號輸入，UI 接收到的訊號）
