Coulombic ESC
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| ESC 構造 |
BiPolar ESC
e-chuck（靜電吸盤）是一種用於半導體製造和其他精密製造過程的關鍵設備。它是一種具有自動控制功能的裝置，用於保持和固定半導體晶圓或其他微細零件，以便在製造過程中進行加工、測試和檢驗。
e-chuck的主要功能包括：
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1. 溫度控制：e-chuck能夠精確控制晶圓或零件的溫度，這在半導體製造中非常關鍵，因為溫度變化可能會影響材料的性能和製程的穩定性。
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2. 固定和定位：e-chuck能夠可靠地固定和定位晶圓或零件，以確保精確的加工和測試。這有助於提高製造過程的精度和效率。
總之，e-chuck在半導體和微細加工領域中扮演著關鍵角色，它通過控制溫度、固定零件和提供特殊的環境條件，有助於確保高質量的製造過程。
ESC 學問好深
各種型號的ESC，當然有不同的規格.
能搞懂機台所使用的ESC model 最好，
不懂的話，至少要知道兩個參數: ESC clamp voltage, Bias RF voltage Probe。
註： VCI sensor:
- The voltage transducer (VCI) is used to measure the lower electrode DC voltage.
