Keyword: pressure, manometer, 壓力
什麼是壓力？物理意義為何？
「壓力」是作用在物體表面上垂直做功時每單位面積力的大小，常用的單位換算有 mTorr、Kg/cm2、Bar(Pa)及 psi 等。
大氣壓力的物理意義
在海平面上測得的空氣壓力約為 1 kg/cm2，其來源是大氣層中空氣的重量，因此又稱為大氣壓力，常以 atm 表示，1 kg/cm2 約等同於 1 大氣壓力（1 atm）。實際的大氣壓力則會隨著海拔高度、溫度及天氣等因素而有所變動。
絕對壓力及相對壓力
絕對壓力的壓力值 ＝絕壓值，以絕對壓力為基準的壓力錶 ＝絕對壓力錶
ex. CM1, CM2, CM3
相對壓力的壓力值 ＝錶壓值，以相對壓力為基準的壓力錶 ＝相對壓力錶
ex. MFC transducer, He pressure gauge 等
圖解絕對壓力及相對壓力
帶著以上的概念，重新看一次機台用到的gauge 吧
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No. |
縮寫 |
全名 |
量測範圍
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Interlock switch |
如何應用？ |
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1 |
CM1 |
Process manometer |
0 – 100 mTorr |
NA |
Chamber 壓力小於100mT, 用CM1讀 |
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2 |
CM2 |
Chamber manometer |
0 – 10 Torr |
0.1V (100mT) 0.5V (500mT) |
Chamber 壓力大於100mT, 用CM2讀 |
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3 |
CM3 |
Foreline Manometer |
0 – 10 Torr |
1V (1000mT) 10V (non use) |
Foreline壓力大於1000mT, PV close |
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4 |
CM4 |
Backside helium UPC |
0 – 50 psi |
NA |
需pump down, 確認pressure & flow 零點 |
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5 |
TM |
Pressure gauge |
0 – 760,000 mT |
NA |
VTM gauge Normal 95mT |
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6 |
AL1 |
Hasting gauge |
0 – 930,000 mTorr |
NA |
Airlock gauge |
