EP022.漏率是什麼？真空漏率怎麼計算？

Keyword: Leakback, LR, Leak rate漏率，測漏機

漏率是什麼？真空漏率怎麼計算？

真空漏率的計算通常基於以下公式：

漏率=P / T​

其中，

• $P$ 是manometer 讀取到的壓力上升幅度，通常以微托（mTorr）表示。
• T 是測試的時間長度，通常以分（min）表示。

用途：

真空漏率的確定對於許多應用是至關重要的，尤其是在半導體製造和其他高度敏感的技術領域。在半導體製造中，真空系統的穩定性和性能是至關重要的。通過計算真空漏率，可以評估系統的密閉性，確保在製造過程中不會受到不必要的氣體干擾。

2.     按Leakback，可得Chamber漏率，機台怎麼動作自動算出漏率呢？

2.1  Pump down 5min

2.2  Pendulmn valve close

2.3  Stablize 30s

2.4  計算CM1 變化量，壓力上升多少mT (120s)

3.     有哪些漏率及規格？

3.1  Chamber 漏率：1 mT/min.

3.2  Primary vale 漏率：0.1 mT/min.

3.3  Second valve 漏率：0.1mT/min.

練習題：

弄懂以上概念，現在觀察chamber 漏率測試動作

1. Leakback 自動功能 -> Pump down 5min
2. Pendulmn valve close
3. Stablize 30s
4. 計算CM1 變化量，壓力上升多少mT (120s)
5. Leakback ＝壓力上升幅度 (mT) / 分鐘 (min)